Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM)
El Instituto de Sistemas Optoelectrónicos y Microtecnología (ISOM) es una institución de investigación multi-departamental dedicada a la investigación y educación de posgrado en ingeniería eléctrica. El Instituto se creó el 16 de marzo de 2000 como resultado de la propuesta presentada por varios grupos de investigación de los departamentos de Ingeniería Eléctrica, Tecnología Fotónica, Física Aplicada a la Tecnología de la Información y Física Aplicada a la Arquitectura y el Medio Ambiente. Este personal se divide en dos grupos de investigación: Grupo de dispositivos semiconductores (GDS) y Grupo de dispositivos magnéticos (GDM). Su tamaño, así como la gran experiencia en investigación durante las últimas dos décadas, en particular participando en numerosos proyectos financiados por la Unión Europea, hacen que este equipo sea especialmente adecuado para actividades de investigación y desarrollo.
Las instalaciones de ISOM incluyen una sala limpia de 400 m2 (clase 100-1000) y 300 m2 de laboratorios de caracterización y procesamiento. Además, hay áreas dedicadas tanto a la cooperación industrial y la transferencia de tecnología como a los servicios externos.
Dentro de la sala limpia, entre muchos aparatos de procesamiento, como evaporadores de haz electrónico u hornos de recocido, hay varios sistemas de crecimiento de cristales que incluyen epitaxia de haz molecular para nitruros, arseniuros y antimonuros, deposición química de vapor para grafeno y pulverización para materiales piezoeléctricos y magnéticos. Un laboratorio de clase 100 dentro de la sala limpia está dedicado a la litografía óptica y uno de los sistemas de litografía de haz electrónico más potentes disponibles (10 nm por línea).
Los laboratorios de caracterización, por su parte, incluyen un microscopio electrónico de barrido equipado con catodeluminiscencia (UV, VIS, IR) y EDX, un microscopio de fuerza atómica, bancos ópticos para criostatos para fotoluminiscencia UV, VIS, IR, difractómetros de rayos X y estaciones de sonda para medir en la habitación, bajas y altas temperaturas.